GaN薄膜的ECR等离子体辅助MOCVD生长及特性研究，关于GaN薄膜的ECR等离子体辅助MOCVD生长及特性研究简述
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更新时间：2022-09-04 22:08:09标签： 等离子体薄膜辅助 全文阅读